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2021-07-23

微機電系統(tǒng)工程以機、電技術(shù)，尤其是微機械為基礎，運用微電子技術(shù)和微加工技術(shù)，進行微納米和微機電系統(tǒng)內(nèi)的一系列微型器件的設計、創(chuàng)造及